工業無機廢氣處理常見的方法大概分為五種，其中有生物分解法、活性碳吸附法、等離子法、植物噴灑液除臭法和和UV光解凈化法。廣綠UV光解凈化技術無論在投資成本，運行費用，無二次污染，凈化效率等方面經實際工程驗證，具有常規除臭技術無法比擬的優勢。
     1 生物分解法是利用循環水流將惡臭廢氣中污染物質容于水中，再由水中培養床培養出微生物，將水中的污染物質降解為低害物質，除臭效率可達70%，但受微生物活性影響，培養出來的微生物只能處理一種或幾種相近性質的氣體，為提高處理效率和穩定運行，必須頻繁添加藥劑、控制PH值、溫度等，這樣運行費用相對比較高，投入人工也比較多，而且生物一旦死亡將需要較長時間重新培養。該方法可應用于火電廠氮氫化物的處理。
     2 活性碳吸附法是利用活性炭內部空隙結構發達，有巨大比表面積原理來吸附通過活性炭池的惡臭廢氣分子，初期處理效率可達65%，但極易飽和，通常數日即失效，需要經常更換，并需要尋找廢棄活性碳的處理辦法，運行維護成本很高，適用于低濃度、大風量氣體，對醇類、脂肪類效果較明顯，但濕度大的廢氣效果不明顯，且容易造成環境二次污染。活性炭吸附法應用范圍較廣。
     3 等離子法是利用高壓電極發射離子及電子，破壞惡臭分子結構的原理，轟擊廢氣中惡臭分子，從而裂解惡臭分子，對低濃度的惡臭氣體凈化效果明顯，在正常運行情況下可達到80%以上，能處理多種臭氣充分組成的混合氣體，不受濕度的影響，且無二次污染；但用電量大，且還需要清灰，運行維護成本高，對高濃度易燃易爆氣體極易引起爆炸。等離子法處理煙氣脫硫中效果較為明顯。
     4 植物噴灑液除臭法是通過向產生惡臭氣體的空間噴灑植物提取液將惡臭氣體進行中和、吸收，達到脫臭的目的，除臭效果低濃度可達到50%，不同的臭氣選擇不同的噴灑液，需經常添加植物噴灑液，且需維護設備，運行維護費用高，易造成二次污染。該種方法廣泛應用于污水廠的廢氣處理工程。
     5 UV光解凈化法采用高能UV紫外線，在光解凈化設備內，裂解氧化惡臭物質分子鏈，改變物質結構，將高分子污染物質裂解、氧化為低分子無害物質，其脫臭效率可99%，脫臭效果大大超過國家1993年頒布的惡臭物質排放標準（GB14554-93），能處理氨、硫化氫、甲硫醇、甲硫醚、苯、苯乙烯、二硫化碳、三甲胺、二甲基二硫醚等高濃度混合氣體，內部光源可使用三年，設備壽命在十年以上，凈化技術可靠且非常穩定，凈化設備無須日常維護，只需接通電源即可正常使用，且運行成本低，無二次污染。適用范圍：食品加工廠、肉類加工廠、屠宰場、家禽飼料場、造紙廠、污水處理廠、垃圾轉運站、糞便處理等有機和無機物惡臭氣體的脫臭凈化處理。煉油廠、橡膠廠、皮革廠、印刷廠、化工廠、中西藥廠、金屬鑄造廠、塑料再生廠、噴涂溶劑等有機和無機物惡臭氣體的工業廢氣治理。
    由于廢氣處理工程的不同，應用方法也不盡相同，但以止方法大多可用于食品加工廠、肉類屠宰場、家禽飼料場、造紙廠、污水處理廠、垃圾轉運站、糞便處理等有機和無機廢氣處理方法。